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HMDS真空鍍膜機(jī)
產(chǎn)品簡介:

HMDS真空鍍膜機(jī)化學(xué)名叫六甲基二硅胺烷(別名六甲基二硅氮烷),真空鍍膜機(jī)又稱HMDS基片預(yù)處理系統(tǒng),喆圖真空鍍膜機(jī)對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制,可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進(jìn)行,沒有HMDS揮發(fā),提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料。

產(chǎn)品型號:ZDM-90V

更新時間:2025-03-06

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪 問 量 :1322

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產(chǎn)品介紹

用途概述

HMDS真空鍍膜機(jī)化學(xué)名叫六甲基二硅胺烷(別名六甲基二硅氮烷),真空鍍膜機(jī)又稱基片預(yù)處理系統(tǒng),喆圖真空鍍膜機(jī)對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制,可以在硅片、襯底表面完成 成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進(jìn)行,沒有揮發(fā),提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料。

產(chǎn)品特點(diǎn)

l 采用PLC工控自動化系統(tǒng),人機(jī)界面采用觸摸屏,可靠性高,操作智能方便;

l PLC控制系統(tǒng)具有自動控溫、任意定時、超溫報(bào)警等,彩色觸摸屏顯示,控溫準(zhǔn)確可靠

l 智能化觸摸屏控制系統(tǒng)可根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間

l 采用鋼化玻璃觀察窗,監(jiān)測方便,一體成型的硅橡膠門封,確保箱內(nèi)密封性好;

l 外殼和加熱管均采用不銹鋼材質(zhì),內(nèi)膽不銹鋼,無易燃易爆裝置,無發(fā)塵材料;

l 以蒸汽的形式涂布到晶片表面,液態(tài)涂布均勻,可一次處理4盒以上的晶片,節(jié)省藥液。

l 去水烘烤和增粘(疏水)處理一機(jī)完成無需轉(zhuǎn)移,有效規(guī)避泄露的風(fēng)

l 氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計(jì),使真空箱密封性好,確保氣體外漏

l 多余的蒸汽(尾氣)由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道,確保安全以及環(huán)保


預(yù)處理系統(tǒng)的必要性

涂到晶片表面后,經(jīng)真空鍍膜機(jī)加溫后可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物,它可將硅片表面由親水變?yōu)槭杷鹬詈献饔茫筛门c光刻膠結(jié)合,保證涂膠工藝不影響光刻效果和顯影。

本身是表面改性,不會涂在圓片表面,上面涂膠不影響的處理效果。

處理后需要冷卻后涂膠,建議4小時內(nèi)完成涂膠。

HMDS真空鍍膜機(jī)預(yù)處理程序

(六甲基二硅胺)是黃光區(qū)最毒的東西,真空鍍膜機(jī)預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_真空泵抽真空,待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后,開始充入氮?dú)猓涞揭欢ǖ驼婵斩群螅俅芜M(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^程,到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入通過氮?dú)獾臍怏w,在到達(dá)設(shè)定時間后,停止充入藥液,進(jìn)入保持階段,使硅片充分與反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后,再次開始抽真空。

充入氮?dú)猓瓿烧麄€作業(yè)過程。


技術(shù)參數(shù)

型號

ZDM-90V

ZDM-125V

ZDM-215V

電源電壓

AC 220V 50Hz

控制系統(tǒng)

PLC智能控制

儀表控制

彩色觸摸屏

控溫范圍

RT+10-200℃

溫度分辨率

0.1℃

溫度波動度

±0.1

真空度

≤133pa

內(nèi)膽尺寸

450*450*450

500*550*500

550*550*650

容積

90L

125L

210L

載物托架

2層

3層

3層












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